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FFPM全氟橡膠O型圈

FFPM全氟橡膠O型圈

FFPM全氟橡膠O型圈

類型 顏色硬度 硬度(IRHD) 最高溫度(oC) 接觸的結果 等級 成本
FKM 黑色 65~95 200 全部分解成粉 很差 1
FFKM1 白色 80 230+ 表面變薄,有一層白色粉末 很好 21
FFKM2 白色 80 230+ 表面變薄,有一層白色粉末 很好 21
硅橡膠1 白色 70 220 分解成粉,只留下薄的核心 差 1
硅橡膠2 紅色 70 220 分解成粉,只留下薄的核心 差 1
FFKM3 黑色 80~90 300+ 無損傷,無可見的分解 好 23
FFKM4 黑色 66 230+ 無損傷,無可見的分解 好 14
目前半導體制造業對全氟橡膠有最大的需求。例如,無水蝕刻法要求門和窗,以及排氣閥都能耐受腐蝕性很高的化學品;在光學掩蔽過程中,濾光器、電耦和閥門所用的密封墊也存在類似的需要;等離子CVD(即化學氣相淀積)過程中,真空艙、箱蓋等所用的密封墊都必須能耐等離子體破壞;在陰極真空和噴鍍方法中,要求密封墊具有最低程度的漏氣速率。
某半導體配件制造商將能承受化學等離子體攻擊幾種可能用到的材料制成密封墊,進行了大量試驗,結果見表7(試驗方法及條件略)。試驗后外觀檢查發現,全氟橡膠樣本保持了平滑的表面狀態,這表明材料沒有發生明顯分解。事實上,所有測試的全氟橡膠都沒有明顯的破壞,而氟橡膠和硅橡膠類則完全分解。
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